检查1800度高温退火炉真空泵电源系统，皮带盘皮带松紧，真空泵油是否位于油封观察孔中线。检查妥后，人工转动真空泵皮带盘，如无异常，可在关闭蝶阀的情况下，启动真空泵。检查真空炉体的杠杆手把启动是否灵活。检查转动式麦氏真空计是否合乎要求。中频电源、真空炉炉体、感应圈之冷却水源——蓄水池之水必须充满，水中不得有杂质。真空炉开动水泵，使其中频电源，真空炉感应圈、炉体冷却系统水循环正常，并调整水压控制在规定值。检查真空炉体内情况，要求真空炉体内一级卫生，感应圈绝缘良好，密封真空胶带具有弹性，尺寸合格。

欠烧时，穿透氮化硅的银浆留有残余，那么进入N型层的银浆也比较少，欧姆接触效果不好，会造成串联的电阻较大。过烧时，银的消耗量会较平时多一些，而且会形成有银硅形成的混合层，这个混合层会起到阻碍的作用，同样也会形成串联的电阻过大。所以单单通过电阻不能推断是欠烧还是过烧状态。温度1000-3000℃的HB-TS红外测温仪来测，高精度0.5%的，响应时间很快。带有在线测温及控温系统，可实时监控炉内的温度，并进行自动的调节。通过石墨化炉生产的产品质量稳定，同时保障产品的要求。